Karakteristike dizajna uređaja za poređenje čipova sa više čipova mašine za vakuumsko oblaganje

1) Fiksni cilindar 3 Dizajn cilindričnog oblika, velikog promjera, strukture debelih stijenki i obodno simetrične metode pričvršćivanja može osigurati dovoljnu čvrstoću i krutost, a istovremeno može spriječiti da abraziv koji prskanje pri visokim temperaturama kontaminira njegove unutrašnje dijelove , kako bi se osigurala fleksibilnost rotacije brojčanika 15 .

2) Dizajn kružnog ležišta ležaja 2 obezbeđuje zaptivanje i vertikalnost ugradnje ležišta ležaja; povećati prečnik osovine 1, povećati razmak ugradnje između dva ležaja u ležištu ležaja 2, poboljšati sopstvenu snagu i krutost, osigurati da su krutost osovine 1 i rotirajuća fleksibilnost brojčanika 15 tokom procesa rotacije dosljedne uz ponovljivost pozicije.

3) Opterećenjem transpozicionog mehanizma, proširenjem prečnika potporne ploče 16, efektivna površina mehanizma u pravcu ravni se povećava, a može se ugraditi uporedni film velikog prečnika (Φ26,5mm), što je pogodno prilagođavanju optičke putanje i poboljšava kvalitet optičkog filma; Komad za poređenje 12 je napravljen od jednog komada stakla kao jedinica za poređenje. Uporedni komad usvaja prostornu trodimenzionalnu metodu instalacije slaganja. Više komada stakla se slažu i ugrađuju u cilindar za skladištenje uporednih komada 13, tako da se istovremeno može staviti 50~100 komada uporednih komada, što rešava problem mašine za premazivanje. Oblaganje višeslojnim preciznim optičkim filmovima, u poređenju sa problemom da mali broj listova utiče na broj slojeva premaza i na tačnost.

4) Saradnja ploče za pozicioniranje 6 i optičke spojnice 17 u obliku utora, kroz optičku spojnicu tipa utora, osjeti se tri jednako podijeljena proreza od 120 stepeni na ploči za pozicioniranje, a rotacija motora se kontrolira da se zaustavi . Konzistentnost rotacije i pozicioniranja ose 1 se garantuje da će se ponoviti, a točkić 15 se pokreće kako bi se završila tačna radnja biranja.

5) Mehanizam za dovod rotacionog zaptivača je uveden u Wilsonov mehanizam zaptivke 5, koji ne samo da osigurava da motor 9 pokreće fleksibilnu rotaciju osovine 1 kroz zupčanik, već osigurava i efekat brtvljenja vakuumske komore na vani. Optimizovani dizajn uređaja za poređenje sa više čipova mašine za vakuumsko oblaganje ima sledeće karakteristike: (1) Jednostavnu strukturu, veliku čvrstoću i dobru pouzdanost; (2) Broj uporednih čipova je velik, efikasnost proizvodnje je poboljšana, a ultra-višeslojna precizna optika može biti premazana (3) Povećan je promjer uporednog filma, poboljšana je preciznost praćenja filma, zahtjevi za hardverskim sistemom su smanjeni, a sistem je lako realizirati automatsko upravljanje; (4) Troškovi održavanja su niski.

Kroz optimizovanu konstrukciju višedelnog uređaja za upoređivanje komada mašine za vakuumsko premazivanje, obezbeđena je fleksibilnost rotacije mehanizma uporednog komada i doslednost ponavljanja, a mala efektivna površina uporednog komada, nezgodno podešavanje optička putanja i omjer signal-šum optičkog signala su riješeni. Također se rješava problem manjeg opterećenja uporednih listova, što može uvelike poboljšati kvalitet optičkog filma obloženog postojećom mašinom za vakuumsko oblaganje, a optički film sa više od 30 slojeva može se premazati. Praksa je pokazala da je ova uporedna struktura limova korisna i da se može promovirati i implementirati u modernoj industriji optičkih vakuumskih premaza.