Metoda mjerenja i praćenja debljine filma moderne vakuumske mašine

Najdirektnija metoda kontrole premaza je Metoda kvarcnog kristalnog mikrobalansa (QCM), koja može direktno voziti izvor isparavanja, i ciklus bafle kroz PID kontrolu kako bi se održala brzina isparavanja. Sve dok je instrument povezan sa softverom za kontrolu sistema, može kontrolirati cijeli proces premazivanja. Ali tačnost (QCM) je ograničena, dijelom zato što prati kvalitet premaza koji se taloži umjesto njegove optičke debljine.

Također, dok je QCM vrlo stabilna na nižim temperaturama, postaje vrlo temperaturno osjetljiva na višim temperaturama. Tokom dugog grijanja, teško je spriječiti da senzor padne u ovo osjetljivo područje, uzrokujući značajne greške u filmu.

Optičko praćenje je poželjna metoda praćenja premaza visoke preciznosti jer omogućava precizniju kontrolu debljine sloja (ako se pravilno koristi). Poboljšanje preciznosti proističe iz mnogih faktora, ali najtemeljna razloga je praćenje optičke debljine.

OPTIMALAN SWA-I-05 jednovalarni sistem optičkog praćenja usvaja indirektno mjerenje i kontrolu, u kombinaciji sa naprednim softverom za optičko praćenje koji je razvio dr. Wang, kako bi se efikasno poboljšala teorija i metoda osjetljivosti optičkog odgovora na promjene debljine filma kako bi se smanjila konačna greška, pružajući povratne ili mjenjačke odabire načina i širok spektar praćenja valnih dužina. Posebno je pogodan za praćenje premazivanja raznih filmskih debljina uključujući nepravilno praćenje filma.